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“许振鸣是外行人,能知道这台光刻机的技术原理么?”
“锦上添花没有雪中送炭来得划算,我还是等到最后再亮出底牌才好。”
犹豫半天,梁宋松还是忍住了,没把自己的判断和设想说出来。他转过脸去,开始安排自己小组的实验流程工序。
这时。
郝宁教授的小组成员已经进入状态,把激光能量测试仪、激光光谱分析仪、激光头焦距测试仪等各种仪器调试好,随时可以进入测试状态。
见郝宁教授小组的准备工作已经就绪,梁宋松伸手捋了捋头上油光泽亮的头发,表情严肃的下令:“郝教授,咱们开始试验,第一步是测试激光能量的衰减率。”
“开始试验!把能量测试仪调整到自动调节运行状态,每一个0.001毫米的高度测试一组数据。”郝宁扫了一眼梁宋松,随后就进入工作状态。
激光光路系统的能量测试难度非常大,空间高度每相差0.001毫米,激光在空气中消耗的能量就会衰减一个数据级。而激光能量的最终值会影响到激光曝光的强度,影响到芯片光刻物理线路图的精度。
梁宋松之所以把这个测试项目放在第一步,也正是因为如此。但他此时却不慌不忙,好像已经知道测试以后的数据一般。
“第一个节点数据正常,激光能量衰减度低于0.009的数据级。”
“第二个节点数据也正常,能量衰减度低于0.0095的数据级。”
“第三个节点数据更漂亮……”
随着激光能量测试靶子的不断下降,工作站监视器上的数据在不断跳动着。郝宁等人看着数据,嘴里也不自觉的说出测试数据的结果。
这些数据都在规定范围之内,表明这套米国佬生产的激光光路系统质量非常稳定。
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