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看了看激动不已的专家教授们，胡明镇却非常冷静。荣誉对于他来说已经不算什么，关键是要把国产第一台光刻机给调试好才最重要。

这台光刻机的两套分系统都已经通过验证，确保没问题。但把这两套系统重新组装起来，并且再次做联动调试，这还是第一次。并且在一帮院士级专家的眼皮子低下操作，胡明镇不得不慎重。

“液压组汇报情况！”他眉头一扬，朝自己的一位弟子看过去。

“液压组没问题，液压站数据一切正常！”

“压缩空气组没问题，风机已经启动，空气包的压力很稳定！”

“照明组一切正常！”

“起重组已经做好准备工作！”

“……”

随着胡明镇的这一声令下，各小组负责人都立即逐个的汇报数据，和设备运行状态。

一番检测下来，这台光刻机的所有分系统都已经做好准备，具备马上对接安装的良好状态。

“开始对接！”胡明镇竖起两个大拇指，按照设备对接组装流程下达开始对接的指令。

嘟…嘟…嘟……

吊装指挥长吹起了口哨，开始指挥叉车工起重，横移。

看到这一幕，刘教授、董教授、单教授等人都不由得屏住呼吸，心情紧张的见证华国第一台KrF光刻机的对接接驳仪式。

随着“啪”的一声响，激光光路系统和光刻机主体系统正式对接好。见胡明镇的团队没有做任何的对位精调就锁定了激光光路系统，刘教授等人都非常吃惊。

“这…这能对准吗？”

“激光光路系统的重量特别大，接驳箱的体积和接触面又这么小，液压锁定时怎么能调节好轴向、水平向、垂直向的误差？”

“我看不明白！”

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