杜颂鼓起勇气问盛明安:“盛神, 我们多久能够研发出高阶光刻机?”
盛明安:“短则一两年,长则四五年。”
杜颂失望:“这么久?!”
盛明安疑惑:“ASML花六年时间才验证EUV方案可行,之后耗费十来年时间才研发出可量产的高阶光刻机。我们刚起步, 难道两三年还不够快?”
“呃……”杜颂挠头, 不好意思的笑笑:“我太心急了。”
下一刻,他变了脸色, 着急询问:“那我们两三年内能研发出国产14nm光刻机吗?”
盛明安环顾在场众人, 这才发现他们难掩焦虑和颓靡,结合他们刚才的讨论, 猜出杜颂心急的原因, 沉吟片刻便说道:“华国2002年就把攻克光刻机列入863计划, 08年又启动了02专项计划,我们起步慢, 但也有了十几年的沉淀和铺垫。”
他说到此处停下, 一一看向在场的每个人:“相信每一个生在这个国家的科学家,他们仍然在努力,日复一日攻克光刻机的‘八十一道’难关。相信你们自己, 你们手中的光源系统项目虽然目前看不到成效, 但你们每解决的一个小问题、一个数据,都在朝高阶国产光刻机的方向前进。”
物理科研本来就是量变引起质变的一门学科, 前人积年累月的研究, 推动人类社会一步又一步靠近真理大门, 最终汇聚成一场掀动科技革命的飓风。
“总有一天,你们现在所做出的努力都会得到满意的回报。”
其他人有些动容,坐盛明安前面的助理姑娘小声说:“其实我们这几个月来的努力不是没成果, 至少光路结构里各种镜头组件调整是越来越熟练,也越来越精准。”
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