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从轧钢厂回来，于海棠还闷闷不乐，何雨柱也差不多，这次回去感慨良多。

“行了，别悲秋伤感了，我要去一趟实验室，你要去哪，我送你过去。”

“我回家……”于海棠歪着头，靠在后座椅上，看着窗外。

何雨柱叹了一口气，“去西直门……”

司机点头，踩油门走了。

把善感的于海棠送回去，何雨柱直接去了海淀实验室，也就是生产基地内，这里面积一点不比轧钢厂小。

大型工业园区差不多，三十多亩地，两次扩建。

开车来到无尘车间，找到了正在搞研发的倪光南。

他旁边十几个博士生助手记录光刻机数据。

何雨柱套了一身防护服，过去凑了凑，只见光刻机光源束照进投影物镜，下方和晶圆之间充满了水，光源通过水媒介，按线路图在晶片上光刻着。

何雨柱瞅半天，也瞅不出个所以然来。

等了会，见光刻机停下，倪光南拿着芯片，失望的摇了摇头，何雨柱连忙说道“倪院士，忙着呢。”

倪光南对他点了点头，又叹了口气：“唉，还是不行，浸没式这套理论没错，可这差在哪了。”

摇摇头，又瞅着这台光刻机沉思了起来。

这台光刻机就是他们自主研发的193纳米光刻机，名字叫t1。

而想要研发下一代，大家当时都没什么思路，因为国外现在也卡在这里十多年了，都毫无进展。

只有脚盆的佳能跟尼康通过拉短光源，强行从193纳米缩短到157纳米。

这样也有用，但下一代又卡在157纳米不动了。

何雨柱记得光刻机是从浸没式开始让荷兰的asml崛起。

而且他还记得提出理论的是一个台积电技术员。

但是谁，具体名字叫啥他不知道了，所以只能提供这套理论，让他们实验。

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