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技术路线既然确认，那么接下来就是如何将其实现了。

王中军作为实验室的负责人，并不需要事无巨细的全面参与进去，更多的还是掌握方向和协调与督促进度。

想通过原子力显微镜来刻画光栅，最大的拦路虎看来就是硅探针的问题了。

既然要求是100纳米分辨率的光栅，那么探针的针尖应该至少在50纳米。

所谓光栅，其实就是一排透明和不透明交替的宽度相等的玻璃片。它的分辨率，就是一组透明和不透明交替刻痕的总宽度。如果这一组的宽度是100纳米，那么不透明刻痕的宽度就应该是50纳米。

想划出一条50纳米宽的刻痕，当然就需要50纳米细的针尖了。

“我们所有的要求都集中在这跟探针上面，我们的刻痕是50纳米，但我们的分辨率却不能只有50纳米。”

王中军顶着一头有些散乱的头发，充血的眼睛看起来像是有些睡眠不足，但说话的声音却是中气十足。

他用一支笔，指着幕布上的投影，接着给实验室里的其他研究员布置任务：：“探针材质必须是硅，我们的检材不会是绝对平滑，所以必须确保探针断裂也不会对材料造成污染。”

“它的形状应该是一个梯形，针尖是50纳米宽的平面，也就是500个硅原子的宽度。”

王中军想了想，补充了一句：“之前我认为用针尖直接敲击材料，这个思路是不合适的。硅敲击硅，我们无法保证探针上的硅完整性，也就是说敲击的宽度是不可预测的。所以直接敲击材料不合适，我们还需要用探针去除光刻胶，最后通过蚀刻和离子注入来实现光栅。”

“那么我们现在需要解决的就是三个问题，敲击探针、定位探针，以及满足各向异性的蚀刻。”

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